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等离子键合机操作与使用

机器初始安装步骤

1.*yi次开机前，先取出托载盘（专指不锈钢内置仓体机，而对于外置石英玻璃仓体则绝bu允许撤出托载盘），合闭仓门，此时会听到仓门限位开关发出动作声音，PDMS切割器，此音响表明允许后续的处理操作能正常进行。

2、按下红色按钮开关，开关上指示灯亮；按下触摸屏上的手动开启，真空泵绿色按钮，PDMS切割器价格，并轻推舱门（检查能否正常感应）启动真空泵，进入抽真空状态。

等离子体注意事项

1、等离子清洗机的摆放位置要略高真空泵，以免真空泵的微量回油进入清洗机内。

2、请不要使被处理物体与高压较板相接触，特别是金属物体会造成射频高压对地短路而损坏设备。

3、在使用手动控制处理结束后应复原全部电气按钮。如果没有复位自动操作不能正常进行。

4、设备加电后请勿打开机盖，防止高压触电，个别情况烧毁保险管需更换时，PDMS切割器费用，请在断电5分钟后进行。

5、在手动控制处理过程中（即加有高压情况下），在工作情况下请勿设定参数。

等离子键合机操作与使用

机器初始安装步骤

1、连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路，紧固好O型卡和锁紧帽，做到连接处密封且不漏气。

2、接通供电电源和真空泵电源，在此之前检查所有按钮**处于复位状态，同时检查所供电源插座的L、N、E的接线是否与机箱后的AC220V输入插头相一致，以免发生危险动作。

**旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业

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